在半导体制程技术进入5nm先进工艺后，EUV光刻机已成为不可或缺的关键设备，但由于能制作的EUV光刻机厂商仅有ASML，而且产能有限、造价高昂，每台售卖超1亿美元，相当高的条件，决定了现在的芯片成本越来越贵。然而，日本佳能（Canon）号称

尽管早在21世纪初，日本半导体有佳能、尼康等知名光刻机厂商，大力发展电子工业，引领全球半导体，虽然现在早已落魄，但依然有着不错的工业底子。因为没有及时跟上世界的发展步伐，日本近年来立志要发展半导体行业，誓要重返世界前列水平，今年11月，由软