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GaAs晶圆的清洗和表面处理工艺

GaAs晶圆作为常用的一类晶圆，在半导体功率芯片和光电子芯片都有广泛应用。而如何处理好该类晶圆的清洗和进一步的钝化工作是生产工艺过程中需要关注的点。我们知道GaAs晶圆或者在GaAs上长的外延片，都是从GaAs衬底而来的，GaAs衬底大都是有GaAs锭中切割下来的，中间经过

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GaAs晶圆晶圆工艺

GaAs晶圆的清洗和表面处理工艺