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引言随着半导体技术不断推进,芯片制造工艺面临诸多挑战。在这种背景下,通过晶圆背面进行供电的方案(BSPDN)成为一个重要的技术发展方向。然而,采用BSPDN技术会带来显著的散热挑战,需要通过系统化的分析和策略来解决[1]。图1展示了从RTL测试向量到功耗分析的电子设计自动化(EDA)工作流程,显示了

晶圆背面进行供电芯片系统热设计挑战与缓解方案分析

随着半导体工艺向高精度、高集成度发展,晶圆形状逐渐突破传统圆形限制,衍生出带缺口(Notch/Flat)、异形切割、曲面晶圆等特殊形态。这些特殊形状对测试工艺提出新挑战,需针对性开发测试方法以确保良率与可靠性。1、带缺口晶圆的定位与测试缺口

特殊形状的晶圆,如何测试?

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