薄膜晶体管（Thin Film Transistor，TFT）是一种用于电子设备中驱动液晶显示屏的晶体管技术。它是一种薄膜电晶体管，与传统的晶体管相比，具有更小的体积、更低的功耗和更高的开关频率。薄膜晶体管广泛应用于平板电视、电脑显示器、手

随着超大规模集成电路制造技术、新型薄膜晶体管显示技术和大面积OLED显示技术的日益成熟和规模化，激光退火技术逐渐取代传统的炉管退火、快速热退火、尖峰退火、快闪退火，成为新一代主流退火技术。 自从1975年前苏联科学家Gerasi-menko开始研究激光退火以来，此后若干年里，研究者对激光退火机