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芯片封装全流程解析:九大流程!

2025-05-22 11:16
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在半导体产业链中,封装工艺如同为芯片打造铠甲的锻造过程,将脆弱的硅晶圆转换为能应对现实世界考验的电子元件,是许多电子新人需要重点掌握的基础知识之一。

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1、晶圆减薄与切割

采用激光或等离子切割技术,将完成前道工艺的12英寸晶圆精准分割为毫米级芯片单元。背面研磨工艺将晶圆厚度从750μm减至50-100μm,为后续封装创造条件。

2、芯片贴装

在-50℃环境下回温的银胶通过点胶机精准涂布,将芯片固定在引线框架或基板上。该环节需控制银胶厚度公差±2μm,并在175℃氮气环境中固化1小时,确保导热系数达1.5W/(m·K)。

3、电气互联

金线键合工艺使用25μm金线,以超声热压方式实现芯片焊盘与基板的电气连接,键合强度需>10g。先进封装则采用倒装芯片技术,通过C4焊球阵列实现I/O密度超2000个/cm²的互联。

4、塑封成型

热固性环氧树脂在175℃模具中注塑成型,填充压力控制在5-8MPa,形成机械保护层。该过程需确保模流平衡,避免产生空洞或填充不良缺陷。

5、后固化处理

塑封体在175±5℃环境中经历8小时热处理,消除内应力并提升材料交联密度,使玻璃化转变温度达到150℃以上。

6、电镀强化

引脚表面沉积5μm厚无铅锡层,采用脉冲电镀工艺控制晶须生长。该镀层需通过260℃回流焊测试,接触电阻<5mΩ。

7、激光打码

皮秒激光器在封装体表面刻印二维码,包含批次号、生产日期等溯源信息,字符深度控制在15-20μm之间。

8、切筋成型

冲压模具将引线框架切割为单个IC单元,并折弯成J型或鸥翼型引脚,平面度误差需<0.05mm。

9、终极测试

通过ATE测试机进行DC参数测试、功能验证及-55℃至125℃温度循环试验,筛选失效率控制在50ppm以内。


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