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双质量线性振动硅基MEMS陀螺仪结构与驱动技术

MEMS陀螺仪已成为现代导航和运动感知应用中的核心组件。本文探讨双质量线性振动硅基MEMS陀螺仪的结构、驱动技术和噪声特性[1]。1电学模型与接口线路高性能MEMS陀螺仪的基础在于电学建模和接口设计。等效电学模型包括陀螺仪左质量块和接口线路，其中包含驱动电容(CdL , CdL−)、驱动检测电容(C

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MEMS陀螺仪电学建模

双质量线性振动硅基MEMS陀螺仪结构与驱动技术