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从能带图来理解MOS电容(三)

2025-06-19 17:37
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从能带图来理解MOS电容

从能带图来理解MOS电容(二)

(4) 当三种材料接触后,会怎么样?

如果三种材料独立不接触的时候,各自的能带图,如下图所示。

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为了让三种材料接触后,VG=0时,三者的费米能级都在同一水平线上,如下图所示,需要做2个假定[1],一个是在oxide和semiconductor里都没有净电荷,这样在没有外加电压的时候,三种材料各处的电势都为0;一个是metal的功函数等于semiconductor的功函数。

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  • 当VG>0V时

    为了方便绘制出当VG>0时的能带图,把VG=0时的能带图稍稍修改一下,删掉代表能带范围的灰色和蓝色块块,只保留导带底和价带顶,如下图所示。

    77d608655c0f4036533e1dc59fc06b.jpg


按照Ali教授视频所讲,Xm'和Xs'应该保持不变,因为这是材料本身的特性。(不过,这里有一点点疑惑,因为如果是Xs'保持不变的话,那感觉就出不来oxide-semiconductor接触面处的bending了,所以,我在想,教授是在VG=0的情况下讲的,虽然手势比划的是接触面处,其实是指oxide与偏远处的n-type semiconductor之间的能量差?暂时先忽略这一点)。

当VG>0时,金属的费米能级Ef,m往下移动,而Xm'不变,所以代表oxide的矩形的左边框开始往下移动,此时右边框保持固定(或者会稍稍下移??因为[2]中讲,当Ef,m往下移动的时候,会带着半导体与氧化物接触面处的能级也往下移,从而出现bending,暂时也先忽略这一点),如下图所示。此时,在oxide-semiconductor处,应该往哪倾斜,还未标注。

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在[2]的3.1节中,Mark教授,介绍了通过电势来判定oxide-semiconductor接触面处能级的倾斜方向。

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倾斜代表什么呢?

先直观上来推测一下,VG>0,则金属与oxide的接触面处产生正电荷,因为是n-type semiconductor,所以里面的多子是电子,电子会被金属侧的正电荷吸引,在n-type semiconductor和oxide接触面聚集,也就是说,在该接触面处电子浓度增加。

而半导体中的载流子浓度的公式为:

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接触面处Ef与Ei之间的间距,与本征半导体(x--∞)相比,变大,所以接触面处的电子浓度变大,与上述直观推测相符合。

该工作区域,被称为accumulation。也就是说,当半导体是n-type,VG>0时,为accumulation;类似,当半导体是p-type,VG<0时,为accumulation。

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