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为减少海外依赖,三星首次引入本土EUV光刻胶

2022-12-07 10:01
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随着芯片逐渐成为各国综合国力的重要指标,华为中芯国际等中企被美国重压制裁,作为“芯片之母”的EUV光刻机更是受到了极大的关注,然而很少人知道,EUV光刻胶也同样重要,毫不夸张地说,没有EUV光刻胶,EUV光刻机就无法生产芯片。

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近日,三星电子首次在供应链里引入本土EUV光刻胶,该EUV光刻胶是韩国本土企业东进世美肯半导体所研发的,是三星进行光刻胶本土量产的首次尝试,之前三星的光刻胶需求是严重高度依赖日本及其他国家。

据了解,东进世美肯半导体的光刻胶早在2021年已通过三星电子的可靠测试,不到一年就被应用大规模的晶圆代工,不难看出三星对东进世美肯半导体抱有多大的期望。

目前,除了东进世美肯半导体,韩国本土企业永昌化学和SK材料性能也在开发EUV光刻胶,但仍未通过可靠性验证。

光刻胶是光刻工艺中的关键材料,是指经过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射后,溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,主要应用于积体电路和分立器件的细微图形加工。

和其他细分产业不同,光刻胶企业具有极高的行业壁垒,最大的难点是对树脂和感光剂等原材料要求非常高,而且研发难度和成本非常高,在研发和量产上都需要企业的长期技术积累。

此外在产品送样前,光刻胶生产商还需要购置光刻机用于内部配方测试,根据验证结果调整配方。


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